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干式真空泵的应用范围介绍

  来源:www.cnxxzzjcj.com
  干式真空泵指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质的设备,但是在设备的使用中,很多用户并不了解其设备具体的应用范围,对此,接下来就其进行详细的介绍。
  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

  2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

干式真空泵

  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的真空泵可以满足要求;
  4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用真空泵;
  5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  以上就是干式真空泵的应用范围介绍,根据其介绍,可清楚的了解设备的使用和选择,以便更好的达到使用效率,避免出现任何导致设备损坏的情况。

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